搜索到"方案"的結(jié)果:共計(jì)813條信息
國(guó)產(chǎn)EUV,光刻廠的方案可行么? | [2023/12/14 9:28:26] |
新聞資訊-IT業(yè)界-新聞 — EUV光刻機(jī)有什么不同呢?ASML的方案叫“錫滴轟擊法”,過程簡(jiǎn)單來(lái)說就是:先熔化純錫,然后將它們用特制的噴嘴噴出,形成每個(gè)錫滴直徑嚴(yán)格控制為27微米的錫霧,接著用二氧化碳激光照射錫霧,像打靶一 全文 | |
國(guó)產(chǎn)EUV,光刻廠的方案可行么? | [2023/12/14 9:28:26] |
新聞資訊-IT業(yè)界-新聞 — EUV光刻機(jī)有什么不同呢?ASML的方案叫“錫滴轟擊法”,過程簡(jiǎn)單來(lái)說就是:先熔化純錫,然后將它們用特制的噴嘴噴出,形成每個(gè)錫滴直徑嚴(yán)格控制為27微米的錫霧,接著用二氧化碳激光照射錫霧,像打靶一 全文 | |